對(duì)于高純?nèi)?/strong>來(lái)說(shuō)，大多數(shù)朋友都不太了解，我們?cè)谑褂们笆紫纫宄幕A(chǔ)知識(shí)以及適用范圍等，本文，小編就為大家科普一下！
三氟化氮在常溫下是一種無(wú)色、無(wú)臭、性質(zhì)穩(wěn)定的氣體，是一種強(qiáng)氧化劑。三氟化氮在微電子工業(yè)中作為一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，在離子蝕刻時(shí)裂解為活性氟離子，這些氟離子對(duì)硅和鎢化合物，高純?nèi)哂袃?yōu)異的蝕刻速率和選擇性（對(duì)氧化硅和硅），它在蝕刻時(shí)，在蝕刻物表面不留殘留物，是非常良好的清洗劑，同時(shí)在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的運(yùn)用。
用途：
三氟化氮主要用途是用作氟化氫－氟化氣高能化學(xué)激光器的氟源，在h2-O2 與F2之間反應(yīng)能的有效部分（約25%）可以以激光輻射釋放出，所 HF-OF激光器是化學(xué)激光器中有希望的激光器。三氟化氮是微電子工業(yè)中一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，對(duì)硅和氮化硅蝕刻，采用三氟化氮比四氟化碳與氧氣的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對(duì)表面無(wú)污染，尤其是在厚度小于1.5um的集成電路材料的蝕刻中，三氟化氮具有非常優(yōu)異的蝕刻速率和選擇性，在被蝕刻物表面不留殘留物，同時(shí)也是非常良好的清洗劑。隨著納米技術(shù)的發(fā)展和電子工業(yè)大規(guī)模的發(fā)展技術(shù)，它的需求量將日益增加。
三氟化氮是低毒性物質(zhì)，但是它能強(qiáng)烈刺激眼睛、皮膚和呼吸道粘膜，腐蝕組織。吸入高濃度NF3可引起頭痛、嘔吐和腹瀉。長(zhǎng)期吸入低濃度NF3能損傷牙齒和骨骼，使牙齒生黃斑，骨骼成畸形。具有強(qiáng)氧化性。與還原劑能發(fā)生強(qiáng)烈反應(yīng)，引起燃燒。與易燃物(如苯)和有機(jī)物(如糖、纖維素等)接觸會(huì)發(fā)生劇烈反應(yīng)，甚至引起燃燒。受高熱發(fā)生劇烈分解，甚至發(fā)生。大鼠吸入1000ppm·l小時(shí)末見(jiàn)死亡，但出現(xiàn)高鐵血紅蛋白血癥，當(dāng)吸入10000ppm·l小時(shí)有死亡，在2500ppm時(shí)吸毒后4小時(shí)死亡。容許濃度：10ppm(29mg/m3)。
消防措施：
強(qiáng)氧化劑。受熱或與火焰、電火化、有機(jī)物等接觸能燃燒，甚至。與易燃物（如苯）和可燃物（如糖、纖維素等）接觸會(huì)發(fā)生劇烈反應(yīng)，甚至引起燃燒。與還原劑能發(fā)生強(qiáng)烈反應(yīng)，引起燃燒。
有害燃燒產(chǎn)物： 氟化氫。
滅火方法： 消防員必須穿全身防火防毒服，在上風(fēng)向滅火。切斷氣源。噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場(chǎng)移至空曠處。
滅火劑：霧狀水、泡沫。
迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風(fēng)處，并隔離直至氣體散盡，應(yīng)急處理人員戴正壓自給式呼吸器，穿化學(xué)防護(hù)服。切斷火源。在確保安全情況下堵漏。噴水霧減慢揮發(fā)（或擴(kuò)散），但不要對(duì)泄漏物或泄漏點(diǎn)直接噴水。抽排（室內(nèi)）或強(qiáng)力通風(fēng)（室外）。漏氣容器不能再用，且要經(jīng)過(guò)技術(shù)處理以清除可能剩下的氣體。法規(guī)信息：化學(xué)危險(xiǎn)品安全管理?xiàng)l例（1987年2月17日國(guó)務(wù)院發(fā)布），化學(xué)危險(xiǎn)品安全管理?xiàng)l例實(shí)施細(xì)則（化勞發(fā)[1992]677號(hào)），工作場(chǎng)所安全使用化學(xué)危險(xiǎn)品規(guī)定[1996]勞部發(fā)423號(hào)）法規(guī)，針對(duì)化學(xué)危險(xiǎn)品的安全使用、生產(chǎn)、儲(chǔ)存、運(yùn)輸、裝卸等方面均作了相應(yīng)規(guī)定；常用危險(xiǎn)化學(xué)品的分類(lèi)及標(biāo)志（GB13690－92）將該物質(zhì)劃為第2.3類(lèi)有毒氣體。
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