特殊氣體是指在光電子、微電子等領(lǐng)域，尤其是大規(guī)模集成電路、液晶顯示器等制造過程中不可缺少的基硅性支撐原料。它的純度和潔凈度會直接影響向光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)的指標和成品率，并且從根本上制約著電路和器件的性和準確性。
隨著化合物半導體市場的不斷擴展，特殊氣體的需求量也不斷增加。目前在臺灣和日本的化合物半導體在市場上的占有率較高，在近年來，中、寒的發(fā)展勢頭強勁，北美、歐洲的市場占有率也不斷提高。
半導體工業(yè)用氣體品種多、質(zhì)量要求高、用量少，大部分是有毒或腐蝕性氣體。品種高達百余種。半導體工業(yè)特種氣體按照應(yīng)用分類，主要包括：
1、硅族氣體：含硅基的硅烷類，如硅烷、二氯二氫硅、乙硅烷等
2、摻雜氣體：含硼、磷、砷等三族及五族原子之氣體，如三氯化硼、、磷烷、砷烷等。
3、蝕刻清洗氣體：以含鹵化物及鹵碳化合物為主，如錄氣、三弗化氮、溴化氫、四弗化碳、
六 弗烷等。
4、反應(yīng)氣體：以碳系及氮系氧化物為主，如二氧化碳、氨、氧化亞氮等。
5、金屬氣相沉積氣體：含鹵化金屬及有機烷類金屬，如六氟化鎢、三甲基鎵等。
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